Адклад
Атрымлівайце разуменне і паскарайце працэс распрацоўкі.
Advanced Energy пастаўляе рашэнні для электразабеспячэння і кіравання для важных прыкладанняў нанясення тонкіх плёнак і геаметрыі прылад.Каб вырашыць праблемы апрацоўкі пласцін, нашы прэцызійныя рашэнні па пераўтварэнні энергіі дазваляюць аптымізаваць дакладнасць магутнасці, дакладнасць, хуткасць і паўтаральнасць працэсу.
Мы прапануем шырокі спектр ВЧ-частот, сістэм харчавання пастаяннага току, індывідуальных узроўняў выхадной магутнасці, адпаведных тэхналогій і валаконна-аптычных рашэнняў для маніторынгу тэмпературы, якія сапраўды дазваляюць вам лепш кантраляваць працэс плазмы.Мы таксама інтэгруем Fast DAQ™ і наш набор даных і спецыяльных магчымасцей, каб забяспечыць разуменне працэсу і паскорыць працэс распрацоўкі.
Даведайцеся больш аб нашых працэсах вытворчасці паўправаднікоў, каб знайсці рашэнне, якое адпавядае вашым патрэбам.
Ваш выклік
Ад плёнак, якія выкарыстоўваюцца для ўзору памераў інтэгральных схем, да токаправодных і ізаляцыйных плёнак (электрычныя структуры), да металічных плёнак (узаемасувязь), вашы працэсы нанясення патрабуюць кантролю на атамным узроўні — не толькі для кожнай асаблівасці, але і для ўсёй пласціны.
Акрамя самой структуры, дэпанаваныя плёнкі павінны быць высокай якасці.Яны павінны валодаць жаданай зярністай структурай, аднастайнасцю і канформнай таўшчынёй, а таксама быць без пустэч - і гэта ў дадатак да забеспячэння неабходных механічных напружанняў (сціску і расцяжэння) і электрычных уласцівасцей.
Складанасць толькі расце.Каб ліквідаваць абмежаванні літаграфіі (вузлы менш за 1X нм), метады самавыраўноўвання двайнога і чатырохкратнага ўзору патрабуюць, каб ваш працэс нанясення ствараў і прайграваў узор на кожнай пласціне.
Наша рашэнне
Калі вы разгортваеце найбольш важныя дадаткі для нанясення і геаметрыі прылад, вам патрэбен надзейны лідэр на рынку.
Тэхналогія пастаўкі ВЧ-энергіі і высакахуткаснага ўзгаднення ад Advanced Energy дазваляюць наладжваць і аптымізаваць дакладнасць, дакладнасць, хуткасць і паўтаральнасць працэсу, неабходныя для ўсіх перадавых працэсаў нанясення PECVD і PEALD.
Скарыстайцеся нашай тэхналогіяй генератара пастаяннага току, каб дакладна наладзіць наладжваемую характарыстыку дугі, дакладнасць магутнасці, хуткасць і паўтаральнасць працэсаў, неабходных для працэсаў нанясення PVD (напыленне) і ECD.
Перавагі
● Палепшаная стабільнасць плазмы і паўтаральнасць працэсу павялічвае выхад
● Дакладная падача ВЧ і пастаяннага току з поўным лічбавым кіраваннем дапамагае аптымізаваць эфектыўнасць працэсу
● Хуткая рэакцыя на змены плазмы і кіраванне дугой
● Шматузроўневая пульсацыя з адаптыўнай наладай частоты паляпшае селектыўнасць хуткасці тручэння
● Даступная глабальная падтрымка для забеспячэння максімальнага часу бесперабойнай працы і прадукцыйнасці прадукту