Пакладанне
Атрымайце аналітыку і паскорыце працэс распрацоўкі.
«Advanced Energy» прапануе рашэнні для электрасілкавання і кіравання для крытычна важных задач па нанясенні тонкіх плёнак і геаметрыі прылад. Нашы рашэнні для дакладнага пераўтварэння энергіі дазваляюць аптымізаваць дакладнасць, прэцызійнасць, хуткасць і паўтаральнасць працэсу, каб вырашыць праблемы апрацоўкі пласцін.
Мы прапануем шырокі дыяпазон радыёчастот, сістэм харчавання пастаяннага току, індывідуальных узроўняў выходнай магутнасці, тэхналогій супастаўлення і рашэнняў для маніторынгу тэмпературы валаконна-аптычных сістэм, якія сапраўды дазваляюць вам лепш кантраляваць плазму працэсу. Мы таксама інтэгруем Fast DAQ™ і наш пакет збору і доступу да дадзеных, каб забяспечыць разуменне працэсу і паскорыць працэс распрацоўкі.
Даведайцеся больш пра нашы працэсы вытворчасці паўправаднікоў, каб знайсці рашэнне, якое адпавядае вашым патрэбам.
Ваша задача
Ад плёнак, якія выкарыстоўваюцца для фарміравання памераў інтэгральных схем, да праводзячых і ізаляцыйных плёнак (электрычныя структуры) і металічных плёнак (узаемасувязь), вашы працэсы нанясення патрабуюць кантролю на атамным узроўні — не толькі для кожнай элементы, але і для ўсёй пласціны.
Акрамя самой структуры, вашы напыленыя плёнкі павінны быць высокай якасці. Яны павінны мець патрэбную зерністую структуру, аднастайнасць і канформную таўшчыню, а таксама быць без пустэч — і гэта ў дадатак да забеспячэння неабходных механічных напружанняў (сціскальных і расцяжных) і электрычных уласцівасцей.
Складанасць працягвае толькі расці. Каб вырашыць праблемы літаграфіі (вузлы менш за 1X нм), метады самавыраўноўвання падвойнага і чатырохкратнага фарміравання малюнкаў патрабуюць, каб ваш працэс нанясення малюнка ствараў і прайграваў яго на кожнай пласціне.
Наша рашэнне
Калі вы разгортваеце найбольш важныя праграмы нанясення і геаметрыі прылад, вам патрэбен надзейны лідэр рынку.
Тэхналогія падачы радыёчастотнай магутнасці і высакахуткаснага ўзгаднення Advanced Energy дазваляюць наладжваць і аптымізаваць дакладнасць магутнасці, прэцызійнасць, хуткасць і паўтаральнасць працэсу, неабходныя для ўсіх перадавых працэсаў нанясення PECVD і PEALD.
Скарыстайцеся нашай тэхналогіяй генератара пастаяннага току для дакладнай налады вашых наладжвальных характарыстык дугі, дакладнасці магутнасці, хуткасці і паўтаральнасці працэсу, неабходных для працэсаў PVD (распылення) і ECD-напылення.
Перавагі
● Палепшаная стабільнасць плазмы і паўтаральнасць працэсу павялічваюць выхад
● Дакладная падача радыёчастотных і пастаянных сігналаў з поўным лічбавым кіраваннем дапамагае аптымізаваць эфектыўнасць працэсу
● Хуткая рэакцыя на змены плазмы і кіраванне дугой
● Шматузроўневая імпульсная генерацыя з адаптыўнай наладай частаты паляпшае селектыўнасць хуткасці травлення
● Глабальная падтрымка даступная для забеспячэння максімальнай бесперабойнай працы і прадукцыйнасці прадукту