Мікрахвалевы імпульсны блок сілкавання - гэта новы тып мікрахвалевага блока сілкавання, заснаванага на тэхналогіі высокачашчыннага інвертара IGBT.Ён аб'ядноўвае анодны крыніца харчавання высокага напружання, блок харчавання ніткі напальвання і блок харчавання магнітнага поля (за выключэннем мікрахвалевага блока харчавання магутнасцю 3 кВт).Умовы працы забяспечвае хвалевы магнетрон.Гэты прадукт выкарыстоўваецца ў MPCVD, мікрахвалевым плазменным тручэнні, мікрахвалевай плазменнай дегуммации і ў іншых галінах.