Сярэднечашчынны блок сілкавання з напыленнем серыі MSB
-
Сярэднечашчынны блок сілкавання з напыленнем серыі MSB
ВЧ блок харчавання серыі RHH абапіраецца на развітую тэхналогію генерацыі ВЧ, каб забяспечыць кліентам ВЧ блок харчавання з большай магутнасцю, больш высокай дакладнасцю і хуткім рэагаваннем.З фазай можа быць усталяваны, імпульсны кантроль, лічбавая налада і іншыя функцыі.Дастасавальныя вобласці: фотаэлектрычная прамысловасць, прамысловасць плоскіх дысплеяў, паўправадніковая прамысловасць, хімічная прамысловасць, лабараторыя, навуковыя даследаванні, вытворчасць і г.д.
Дастасавальныя працэсы: плазменнае хімічнае асаджэнне з паравай пары (PECVD), плазменнае тручэнне, плазменная ачыстка, радыёчастотная крыніца іёнаў, плазменная дыфузія, плазменнае палімерызацыйнае напыленне, рэактыўнае напыленне і інш.