Кантролер харчавання серыі TPM5
-
Кантролер харчавання серыі TPM5
Кантролер магутнасці серыі TPM5 прымае ідэю дызайну модуля і аб'ядноўвае да 6 ланцугоў. Прадукты ў асноўным выкарыстоўваюцца ў дыфузійных печах, PECVD, эпітаксіяльных печах і г.д.