Кантролер харчавання серыі TPM5
-
Кантролер харчавання серыі TPM5
Кантролер магутнасці серыі TPM5 выкарыстоўвае модульную канструкцыю і аб'ядноўвае да 6 ланцугоў. Прадукцыя ў асноўным выкарыстоўваецца ў дыфузійных печах, PECVD, эпітаксійных печах і г.д.