Кантролер магутнасці серыі TPM5 прымае ідэю дызайну модуля і аб'ядноўвае да 6 ланцугоў.Прадукты ў асноўным выкарыстоўваюцца ў дыфузійных печах, PECVD, эпітаксіяльных печах і г.д.